分子束外延系统

分子束外延系统包括进样腔，准备腔，生长腔。该系统属于真空系统。该系统不仅可用于III-V族，II-VI族化合物外延薄膜及合金半导体的制备，也可以用于构筑原子级纳微结构。生长过程中，可通过RHEED系统对半导体薄膜的生长状况进行实时的观测。