聚焦离子束

该仪器为聚焦离子束，它可以为TEM高效地制备超薄的、高质量的样品，并且对纳微尺寸的样品进行原位可靠、精准离子束加工，刻蚀，制粉，沉积功能。它可以快速准确运用于纳米领域超高分辨率成像，分析和纳米尺寸制作过程中。聚焦离子束广泛应用于材料微纳尺度加工，器件小型化，功能化制备等领域。

位置 A106

负责人：吴小峰