水热及固态化学研究课题组学习记录
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聚焦离子束

 

该仪器为聚焦离子束,它可以为TEM高效地制备超薄的、高质量的样品,并且对纳微尺寸的样品进行原位可靠、精准离子束加工,刻蚀,制粉,沉积功能。它可以快速准确运用于纳米领域超高分辨率成像,分析和纳米尺寸制作过程中。聚焦离子束广泛应用于材料微纳尺度加工,器件小型化,功能化制备等领域。

位置 A106

负责人:吴小峰

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