脉冲激光沉积

脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD），也被称为脉冲激光烧蚀（pulsed laser ablation，PLA），脉冲激光光束聚焦在固体靶面上，激光超强的功率使得靶材快速等离子化，然后溅镀基底上。它为薄膜和多层复合物的生长提供了强有力的方法。