Hydrothermal & Solid State Chemistry Group
  • 吉林大学
  • 化学学院
  • 无机合成与制备化学国家重点实验室
  • English
  • 首页
  • 课题组简介
  • 人员构成
  • 组内研究
    • 研究方向
    • 研究进展
    • 近期论文
      • 2017
      • 2016
      • 2015
      • 2014
      • 2013
  • 交流访问
    • 学术会议
    • 学术访问
  • 仪器设备
  • 联系我们
Menu
  • 分子束外延系统
  • 光催化测试系统
  • 聚焦离子束
  • 脉冲激光沉积
  • 紫外光刻机
  • 荧光光谱仪FSL920
  • 原子力显微镜
  • 多相催化反应评价系统
  • 等离子清洗机+混气系统
CLOSE

紫外光刻机

 

该仪器为紫外光刻机,一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、旋涂、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。 Photolithography(光刻)是用光来制作一个图形(工艺); 在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶或将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

位置 B124

负责人:吴小峰

  • 课题组简介
  • 组内成员
  • 研究方向
  • 研究进展
  • 近期会议
  • 通知公告
  • 学术访问
  • 仪器设备
  • 近期论文
  • 2017年
  • 2016年
  • 2015年
  • 吉林省长春市前进大街2699号

  • Telephone0431 85168986

  • email kkhuang@jlu.edu.cn

©2020 吉林大学水热及固态化学研究课题组 版权所有 吉ICP备17008266号