等离子清洗机+混气系统

该系统为等离子系统，它包括石英真空室、真空抽气与真空测量系统、射频电源系统、匹配器，电源范围宽, 0-500 W可调。适用范围宽，如金属非金属的清洗、刻蚀、薄膜衬底的清洗等。混气系统可以将两种（或多种）气体按比例混合，达到实验所需求的气氛，并对流速流量进行控制。

地点：唐楼A314
负责人：黄科科